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Analisi tramite spettroscopia Auger
Analisi tramite spettroscopia Auger
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La spettroscopia Auger consente di caratterizzare la
composizione chimica della superficie del campione sia qualitativamente che quantitativamente.
Mediante questa tecnica possono venire rilevati solo gli elementi chimici presenti sulla superficie del campione fino ad una profondità di circa 1-5 nanometri.
È possibile selezionare con precisione la zona di interesse su cui eseguire l’analisi.
Poiché spesso la superficie del campione è caratterizzata dalla presenza di contaminanti atmosferici (quasi esclusivamente carbonio e ossigeno), per ripulire la superficie si utilizza un fascio ionico di ioni Argon che rimuove pochi nanometri di materiale superficiale.
E’ possibile inoltre rilevare la concentrazione di determinati elementi al variare della profondità (Profondità massima di analisi: 3-5μm)
CAMPO DI APPLICAZIONE:
ANALISI DI CONTAMINAZIONE SUPERFICIALE IN ZONE LOCALIZZATE
ANALISI DI MULTISTRATI (SI RILEVANO TRANQUILLAMENTE ANCHE STRATI DI 10 nm).
Sensibilità minima: 0,1-0,5% in concentrazione di peso.
Tecnica di analisi chimica dei primi 5-10 nanometri di superficie su un’area che può variare tra circa 20x20μm a 200x200μm.
Dimensione campioni massima 1cm x 1cm x 1cm (sia solidi che polveri), in genere si riesce a fare analisi su campioni curvi.
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Analisi tramite SEM-FIB
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Analisi tramite spettroscopia Auger per profili di profondità
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